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直接換熱式冷水機 三通道制冷機chiller

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設備廠家,公司主要生產高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片等領域的可靠性測試提供整套溫度環境解決方案。直接換熱式冷水機 三通道制冷機chiller

  • 產品型號:FLTZ-008W
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-07-04
  • 訪  問  量:26
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價格區間10萬-50萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

直接換熱式冷水機 三通道制冷機chiller

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在半導體制造過程中,薄膜沉積是一項關鍵工藝之一,而水冷機作為該工藝中重要的溫控設備之一,其正確使用有助于保障生產質量和設備穩定運行。

一、設備安裝與調試

在安裝薄膜沉積水冷機前,需仔細確認安裝場地的環境條件。場地應具備足夠的空間,確保設備周圍通風良好,避免因通風不佳導致設備運行時熱量積聚,影響散熱效果。同時,要檢查安裝場地的電源條件,確保電源電壓和頻率與水冷機的額定要求相符,以免因電源問題導致設備不能正常啟動或運行不穩定。

安裝過程中,需嚴格按照安裝要求進行操作,確保各部件的安裝位置正確、連接牢固。冷卻水管路的連接應緊密,避免出現漏水現象,否則不僅會影響冷卻效果,還可能對設備周圍的環境和其他設備造成損害。調試前,要對設備的各個系統進行檢查,包括制冷系統、循環水系統、電氣控制系統等。調試時,需按照規定的步驟進行,逐步測試設備的各項功能,如制冷能力、控溫精度等,確保設備在安裝后能夠正常運行。

二、運行前的準備工作

在啟動薄膜沉積水冷機之前,需要做好一系列的準備工作。首先,要檢查循環水的水質和水量。水質應符合設備的要求,避免使用含有大量雜質、礦物質或腐蝕性物質的水,以免在設備內部形成水垢、堵塞管路或腐蝕部件。水量要充足,確保膨脹罐內有足夠的水位,以滿足設備運行時的循環需求。

三、運行過程中的監控與維護

在薄膜沉積水冷機運行過程中,需要對設備進行實時監控,密切關注設備的各項運行參數。監控的參數包括循環水的溫度、壓力、流量,制冷劑的壓力、溫度,以及壓縮機的電流、電壓等。通過監控這些參數,可以及時發現設備運行中的異常情況。當循環水溫度出現異常波動時,可能是由于制冷系統故障、水質問題或負載變化等原因引起的,需要及時排查原因并采取相應的措施。

正確使用和維護薄膜沉積水冷機通過做好設備的安裝調試、運行前的準備、運行中的監控維護以及故障處理和安全防護等工作,可以確保水冷機的穩定運行,提高生產效率和產品質量。


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